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[이주의핫딜]멀티스케일인스트루먼트, 시드투자 유치[편집자주] 벤처·스타트업 투자흐름을 쫓아가면 미래산업과 기업들에 대한 인사이트를 얻을 수 있습니다. 한 주간 발생한 벤처·스타트업 투자건수 중 가장 주목받은 사례를 집중 분석합니다.지난 4월15일 경기 과천시 과천국립과학관 미래상상,SF관에서 웨이퍼가 빛을 반사하고 있다. 기사 내용과는 관계 없음 /사진=뉴스1 반도체에 10나노미터(10억분의 1미터) 이하 간격으로 소자를 새겨넣는 초미세 선단 공정이 시작되면서 '원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)'이 핵심 장비로 떠오르고 있다. 원자의 특성을 사용해 대상을 미세 계측·검사해야 할 만큼 반도체들이 정밀해졌기 때문이다. 이에 다양한 반도체 제조장비 기업들이 원자현미경 개발에 뛰어들고 있다. 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 멀티스케일인스트루먼트(이하 멀티스케일)도 원자현미경으로 시장에 도전장을 내민 스타트업이다. 멀티스케일은 최근 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드 투자를 유치하며 본격적인 사업의 시작을 알렸다. 특히 정밀기계부품 제조사 삼익THK의 CVC(기업형 벤처캐피탈)인 삼익매츠벤처스가 투자에 참여하면서 장비 양산 등에 속도가 붙을 것으로 보인다.━수정진동자 방식으로 '비접촉' 검사…가격경쟁력도 높아━멀티스케일은 통상 원자현미경에서 사용되는 '캔틸레버' 방식이 아닌 '수정(水晶, Quartz) 진동자' 방식으로 원자현미경을 개발하는 스타트업이다. 제 대표가 학계에서 20여년간 연구해온 수정진동자 기술을 기반으로 창업했다.투자자들은 멀티스케일의 '수정진동자 기술'에 주목하고 있다. 기존 원자현미경은 주로 캔틸레버(외팔보)에 탐침(센서)을 달아 검사 대상을 훑으며 표면 상태를 읽는 방식을 활용한다. 문제는 검사 과정에서 탐침이 검사 대상의 표면에 닿는다는 점이었다. 이는 검사에 오차를 발생시키나 반도체 표면의 미세한 변형(손상)을 발생시킬 수 있다.반면 수정진동자 기술은 검사 대상과 접촉하지 않고서도 계측이 가능하다. 물체와 닿지 않아도 가까이 가면 진동하는 수정의 특성을 활용한 기술이다. 이에[이주의핫딜]멀티스케일인스트루먼트, 시드투자 유치[편집자주] 벤처·스타트업 투자흐름을 쫓아가면 미래산업과 기업들에 대한 인사이트를 얻을 수 있습니다. 한 주간 발생한 벤처·스타트업 투자건수 중 가장 주목받은 사례를 집중 분석합니다.지난 4월15일 경기 과천시 과천국립과학관 미래상상,SF관에서 웨이퍼가 빛을 반사하고 있다. 기사 내용과는 관계 없음 /사진=뉴스1 반도체에 10나노미터(10억분의 1미터) 이하 간격으로 소자를 새겨넣는 초미세 선단 공정이 시작되면서 '원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)'이 핵심 장비로 떠오르고 있다. 원자의 특성을 사용해 대상을 미세 계측·검사해야 할 만큼 반도체들이 정밀해졌기 때문이다. 이에 다양한 반도체 제조장비 기업들이 원자현미경 개발에 뛰어들고 있다. 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 멀티스케일인스트루먼트(이하 멀티스케일)도 원자현미경으로 시장에 도전장을 내민 스타트업이다. 멀티스케일은 최근 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드 투자를 유치하며 본격적인 사업의 시작을 알렸다. 특히 정밀기계부품 제조사 삼익THK의 CVC(기업형 벤처캐피탈)인 삼익매츠벤처스가 투자에 참여하면서 장비 양산 등에 속도가 붙을 것으로 보인다.━수정진동자 방식으로 '비접촉' 검사…가격경쟁력도 높아━멀티스케일은 통상 원자현미경에서 사용되는 '캔틸레버' 방식이 아닌 '수정(水晶, Quartz) 진동자' 방식으로 원자현미경을 개발하는 스타트업이다. 제 대표가 학계에서 20여년간 연구해온 수정진동자 기술을 기반으로 창업했다.투자자들은 멀티스케일의 '수정진동자 기술'에 주목하고 있다. 기존 원자현미경은 주로 캔틸레버(외팔보)에 탐침(센서)을 달아 검사 대상을 훑으며 표면 상태를 읽는 방식을 활용한다. 문제는 검사 과정에서 탐침이 검사 대상의 표면에 닿는다는 점이었다. 이는 검사에 오차를 발생시키나 반도체 표면의 미세한 변형(손상)을 발생시킬 수 있다.반면 수정진동자 기술은 검사 대상과 접촉하지 않고서도 계측이 가능하다. 물체와 닿지 않아도 가까이 가면 진동하는 수정의 특성을 활용한 기술이다. 이에 캔틸레버 방식에 비해 높은 정밀도를 구현하는 게 가능하다는 설명이다. 김승태 블루포인트파트너스 수석심사역은 "오차를 크게 낮출 수 있고 계측 대상의 변형 가능성도 낮출 수 있다"고 말했다.또 다른 특징은 소형화와 가격경쟁력이다. 김 수석은 "켄틸레버 방식은 탐침의 흔들림을 레이저로 측정하기 때문에 고가의 정밀 레